真空科學(xué)發(fā)展前景展望
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展、特別是近年來(lái)計(jì)算機(jī)和微電子學(xué)、生物工程、材料科學(xué)、表面科學(xué)、航天和航海工程等高技術(shù)科學(xué)的發(fā)展,對(duì)真空科學(xué)要求越來(lái)越高。真空科學(xué)做為這些高技術(shù)發(fā)展不可缺少的技術(shù)必將起到更加重要的作用。例如,在目前微電子學(xué)及其納米級(jí)電子材料和元器件的發(fā)展中。對(duì)真空系統(tǒng)不僅要求采用高真空、超高真空和真空氣氛清潔無(wú)油,而且要求耐腐蝕、耐粉塵 。 為了適應(yīng)這些要求,在真空獲得設(shè)備中制造各種于式泵、耐腐蝕泵,進(jìn)一步發(fā)展磁懸浮式分子泵和能夠避免強(qiáng)磁場(chǎng)及等離子體對(duì)渦輸分子泵金屬轉(zhuǎn)子產(chǎn)生渦流發(fā) 熱的用陶瓷做成轉(zhuǎn)子的新型分子泵,是很必要的。在真空測(cè)量方面,我國(guó)與國(guó)外也存在較大的差距,主要表現(xiàn)在真空規(guī)管的結(jié)構(gòu),電子線路的設(shè)計(jì),集成電路和自動(dòng)換擋及數(shù)字顯示等新技術(shù)的采用上。因此盡快的改變我國(guó)真空測(cè)量?jī)x器的現(xiàn)狀,促進(jìn)這一技術(shù)向多用化、自動(dòng)化及體積小、外形美等方面發(fā)展,也是一個(gè)重要的問(wèn)題。此外,追趕當(dāng)前國(guó)際上在極高真空測(cè)量和特殊條件下的真空測(cè)量頸域中的******水平、也是我國(guó)真空工作者一項(xiàng)責(zé)無(wú)旁貸的艱巨任務(wù)。
(轉(zhuǎn)載自:中國(guó)真空網(wǎng))