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產(chǎn)品展示

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產(chǎn)品展示
ZZS系列箱式真空鍍膜機
  • 用途及特點
  • 規(guī)格參數(shù)
    簡 介
     
    成都南光機器有限公司ZZS系列箱式真空鍍膜機，經(jīng)過四十多年的發(fā)展，形成了真空鍍膜室尺寸從350毫米到3600毫米的箱式真空鍍膜機系列產(chǎn)品。廣泛應用于企業(yè)、科研院所、大專院校的科研和量產(chǎn)化生產(chǎn)領域，是鍍制多層光學薄膜、電學薄膜的理想設備。
     
    產(chǎn)品特點

    ●采用箱式結構，真空系統(tǒng)后置，便于操作和維修；整機表面平整，方便清潔，特別適合放置在凈化間內(nèi)做穿墻式安裝。

    ●設備真空系統(tǒng)抽速大，具有抽氣時間短，真空度高，生產(chǎn)周期短等優(yōu)點。

    ●采用管狀加熱器上烘烤，烘烤溫度均勻，壽命長，可達到******烘烤溫度350℃，烘烤均勻性270℃±10℃。

    ●工件轉動采用上部中心驅動，軸承帶水冷，磁流體密封，轉動平穩(wěn)******。

    ●采用石英晶體膜厚控制儀，可實現(xiàn)鍍膜過程的自動控制。

    ●采用******的鍍膜控制系統(tǒng)，人機操作界面美觀實用，系統(tǒng)穩(wěn)定******，可實現(xiàn)系統(tǒng)的手動、半自動和全自動操作。
     
    適用范圍
     
    ●用于生產(chǎn)IR-CUT濾光片、分色濾光片、高反射膜、AR膜、長波通、短波通和多種電學薄膜
     
    常用標準配置
     
    ●以下表格內(nèi)容為我公司五種常用標準機型的配置及指標，多年來我公司先后開發(fā)了350、450、500、550、630、700、800、900、1100、1250、1300、1500、1800、2200、2500、3600尺寸系列的箱式真空鍍膜機。為滿足廣大用戶的不同需求，我公司可接受多種形式的真空鍍膜機的定制要求，包括對真空室體尺寸、真空系統(tǒng)配置、工件夾具系統(tǒng)、工件烘烤系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)、蒸發(fā)源系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、離子源系統(tǒng)以及電氣控制系統(tǒng)的特殊定制。
    ZZS系列箱式真空鍍膜機
    Series ZZS Box-type Vacuum Coating Machine
     
    常用標準配置表
    Standard configurations for common use
    型  號
    Model    		 ZZS600 ZZS700 ZZS800 ZZS900 ZZS1100 ZZS1300 ZZS1800
    真空室尺寸(直徑×高)
    Size of the vacuum chamber (diameter× height)    		 Φ600×750 Φ710×850 Φ800×900 Φ900×1000 Φ1100×1300 Φ1300×1300 Φ1800×2000
    極限真空度
    Ultimate vacuum degree    		 ≤3.0×10-4Pa
    恢復真空時間
    Time for vacuum recovery    		 4.0×10-3Pa≤15min
    抽氣系統(tǒng)
    Pumping system    		 擴散泵 Diffusion pump K-400 TK-500
     K-600 
    		 K-630 TK-500×2 K-630×2 K-800×2
    羅茨泵 Roots pump       ZJP-150 ZJP-300 ZJP-300 ZJP-1200
    機械泵 Mechanical pump 2X-30 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70，H-150×2
    真空測量系統(tǒng)
    Vacuum measuring system    		 配三路數(shù)字復合真空計，兩路低真空，一路高真空
    Three-way digital compound vacuum gauge, two ways of low vacuum and one of high vacuum
    操作方式
    Operation mode    		 手動/自動
    Manual/automatic
    工件夾具
    Work piece holder    		 Φ600 Φ640 Φ750 Φ840 Φ1040 Φ1240 Φ1720
    工件烘烤系統(tǒng)
    Work piece baking system    		 上烘烤，鎧裝管狀加熱器加熱，******溫度350℃，PID自動控溫及顯示
    Up baking; heated by sheathed tubular heating element; maximum temperature 350℃; PID automatic temperature control and display.
    蒸發(fā)源
    Evaporation source
         		 電阻蒸發(fā)源
    Resistance evaporation source    		 電阻蒸發(fā)源功率4KW（8V、600A）
    Power of the resistance evaporation source: 4KW (8V, 600A)
    電子束蒸發(fā)源
    Electron beam evaporation source
         		 E型電子束蒸發(fā)源，功率6～10KW
    Power of E-type electron beam evaporation source: 6-10KW
    膜厚監(jiān)控系統(tǒng)
    Monitoring system on depth of films    		 光學膜厚監(jiān)控，波長范圍380-800nm，9ｏ透反射光路，六位電動比較片帶顯示；石英晶體膜厚監(jiān)控，美國SQC-310、IC/6
    The optical film thickness monitor, a wavelength range of 380-800nm, 9ｏtransflective optical path, six electric comparison sheet with display; quartz crystal thickness monitoring, the United States SQC-310, IC / 6
    充氣系統(tǒng) charge systems 自動壓強儀2～510-2Pa
    Automatic pressure instrument
    質量流量計：單路單顯，雙路雙顯
    Mass flow meter: one way one display, dual way dual display
    離子輔助（選配）
    Ion-assisted (optional)    		 H6霍爾離子源、H10霍爾離子源、Φ12cm考夫曼離子源、Φ16cm考夫曼離子源
    H6 Hall ion source, H10 Hall ion source, Φ12cm Kaufman ion source, Φ16cm Kaufman ion source
    深冷捕集器（選配）
    Cryogenic trap (optional)    		 國產(chǎn)12P、國產(chǎn)15P、進口POLYCOLD550、進口POLYCOLD670
    Domestic 12P, 15P, POLYCOLD 550, POLYCOLD 670
     
    動力需求
    Power demand    		 冷卻水
    Cooling water    		 壓力溫度
    Pressure and temperature    		 壓力：0.25～0.35MPa；溫度≤25℃
    Pressure: 0.25-0.35MPa; temperature ≤25℃
    流量
    Flow rate    		 ≥50L/min ≥60L/min ≥80L/min ≥100L/min ≥140L/min ≥160L/min ≥180L/min
    壓縮空氣
    Compressed air    		 壓力：0.5～0.7MPa
    Pressure: 0.5-0.7MPa
    ******消耗電力
    Maximum power consumption    		 ～25KW ～35KW ～40KW ～45KW ～50KW ～60KW ～120KW
    設備外形尺寸（寬×深×高）
    Overall dimension (width×depth×height)    		 2100×1800×2000 3350×2600×2370 3580×3000×2450 3870×3600×2670 3870×3600×2670 3900×4050×2950 4400×4000×3600
    設備總重（KG）
    Gross weight (Kg)
         		 約1500
    About 1,500    		 約2000
    About 2,000    		 約2500
    About 2,500    		 約3000
    About 3,000    		 約3000
    About 3,000    		 約4000
    About 4,000    		 約6000
    About 4,000
     
     
     

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